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Deep UV Lithography

Von 1988-11-01 bis 1991-10-31

Projektdetails

Gesamtkosten:

Nicht verfügbar

EU-Beitrag:

Nicht verfügbar

Koordiniert in:

Netherlands

Ziel

Koordinator

ASM LITHOGRAPHY
Netherlands
MEIERIJWEG 15, 8805
5503 HN VELDHOVEN
Netherlands
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Administrative Kontaktangaben: WITTEKOEK
Tel.: +31-40-580800
Fax: +31-40-580333

Teilnehmer

CARL ZEISS GMBH
Germany
CARL-ZEISS-STRAßE 4-54
73447 OBERKOCHEN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Gerhard ITTNER
Tel.: +49-7364-202768
Fax: +49-7364-204509
FRAUNHOFER INSTITUT FÜR SILICATFORSCHUNG
Germany
LEONRODSTRAßE 54
80636 München
Germany
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Administrative Kontaktangaben: N/A
HOECHST AG
Germany
RHEINGAUSTRAßE 190-196
65203 WIESBADEN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: BUHR
Tel.: +49-6121-688558
Fax: +49-6121-62485
Siemens AG
Germany
Paul-Gossen-Straße 100
91052 Erlangen
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Rainer LEUSCHNER
Tel.: +49-9131-731987
Fax: +49-9131-720230
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