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Deep UV Lithography

De 1988-11-01 à 1991-10-31

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

Netherlands

Objectif

Coordinateur

ASM LITHOGRAPHY
Netherlands
MEIERIJWEG 15, 8805
5503 HN VELDHOVEN
Netherlands
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Contact administratif: WITTEKOEK
Tél.: +31-40-580800
Fax: +31-40-580333

Participants

CARL ZEISS GMBH
Germany
CARL-ZEISS-STRAßE 4-54
73447 OBERKOCHEN
Germany
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Contact administratif: Gerhard ITTNER
Tél.: +49-7364-202768
Fax: +49-7364-204509
Commissariat à l'Energie Atomique (CEA)
France
Centre d'Études de Grenoble 17 avenue des Martyrs
38041 Grenoble
France
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Contact administratif: Jean-Charles GUIBERT
Tél.: +33-76883581
Fax: +33-76885183
FRAUNHOFER INSTITUT FÜR SILICATFORSCHUNG
Germany
LEONRODSTRAßE 54
80636 München
Germany
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Contact administratif: N/A
HOECHST AG
Germany
RHEINGAUSTRAßE 190-196
65203 WIESBADEN
Germany
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Contact administratif: BUHR
Tél.: +49-6121-688558
Fax: +49-6121-62485
NEDERLANDSE PHILIPS BEDRIJVEN BV
Netherlands
KASTANJELAAN, 1218
5600 MD EINDHOVEN
Netherlands
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Contact administratif: TOLNER
Tél.: +31-40-766223
Fax: +31-4O-766164
Siemens AG
Germany
Paul-Gossen-Straße 100
91052 Erlangen
Germany
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Contact administratif: Rainer LEUSCHNER
Tél.: +49-9131-731987
Fax: +49-9131-720230
Siemens AG
Germany
Balanstraße 73
81541 München
Germany
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Contact administratif: Wolfgang ARDEN
Tél.: +49-89-63646313
Fax: +49-89-63648666