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Development of a Multichamber Batch Reactor for the Production of Multilayer Interpoly Dielectrics

De 1988-11-15 à 1993-11-14

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

Netherlands

Objectif

Coordinateur

ADVANCED SEMICONDUCTOR MATERIALS INTERNATIONAL
Netherlands
REMBRANDTLAAN, 2A
3723 BJ BILTHOVEN
Netherlands
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Contact administratif: KWAKMAN
Tél.: +31-30-298523
Fax: +31-30-293461

Participants

Commissariat à l'Energie Atomique (CEA)
France
Centre d'Études de Grenoble 17 avenue des Martyrs
38041 Grenoble
France
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Contact administratif: Jean Pierre JOLY
Tél.: +33-76884557
Fax: +33-76-885183
Thomson Microelectronics Srl (SGS)
Italy
Via Carlo Olivetti
20041 Agrate Brianza Milano
Italy
Contact administratif: ALESSANDRI
Tél.: +39-6-555905
Fax: +39-6555233