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Development of a Multichamber Batch Reactor for the Production of Multilayer Interpoly Dielectrics

Dal 1988-11-15 al 1993-11-14

Dettagli del progetto

Costo totale:

Non disponibile

Contributo UE:

Non disponibile

Coordinato in:

Netherlands

Obiettivo

Coordinatore

ADVANCED SEMICONDUCTOR MATERIALS INTERNATIONAL
Netherlands
REMBRANDTLAAN, 2A
3723 BJ BILTHOVEN
Netherlands
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Contatto amministrativo: KWAKMAN
Tel.: +31-30-298523
Fax: +31-30-293461

Partecipanti

Commissariat à l'Energie Atomique (CEA)
France
Centre d'Études de Grenoble 17 avenue des Martyrs
38041 Grenoble
France
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Contatto amministrativo: Jean Pierre JOLY
Tel.: +33-76884557
Fax: +33-76-885183
Thomson Microelectronics Srl (SGS)
Italy
Via Carlo Olivetti
20041 Agrate Brianza Milano
Italy
Contatto amministrativo: ALESSANDRI
Tel.: +39-6-555905
Fax: +39-6555233