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Dry Develop Optical Lithography for ULSI

Desde 1988-12-01 hasta 1991-11-30

Detalles del proyecto

Coste total:

No disponible

Aportación de la UE:

No disponible

Coordinado en:

Belgium

Objetivo

Coordinador

Interuniversitair Mikroelektronica Centrum
Belgium
Kapeldreef 75
3030 Heverlee
Belgium
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Contacto administrativo: Marianne VAN DEN BROECK
Tel.: +32-16-281491
Fax: +32-16-229400

Participantes

Commissariat à l'Energie Atomique (CEA)
France
Centre d'Études de Grenoble 17 avenue des Martyrs
38041 Grenoble
France
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Contacto administrativo: Jean-Charles GUIBERT
Tel.: +33-76883581
Fax: +33-76885183
FARRAN TECHNOLOGY
Ireland
BALLINCOLLIG
CORK
Ireland
GEC Plessey Semiconductors plc
United Kingdom
Caswell
NN12 8EQ Towcester
United Kingdom
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NEDERLANDSE PHILIPS BEDRIJVEN BV
Netherlands
PROF. HOLSTLAAN, 4
5656 AA EINDHOVEN
Netherlands
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Siemens AG
Germany
Balanstraße 73
81541 München
Germany
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Contacto administrativo: Wolfgang ARDEN
Tel.: +49-89-63646313
Fax: +49-89 63648666
UCB ELECTRONICS SA
Belgium
AVENUE LOUISE, 326
1050 BRUXELLES
Belgium
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Contacto administrativo: Bruno ROLAND
Tel.: +32-2-3771170
Fax: +32-2-3783944
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