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Industrial Characterisation of an Advanced Resonant Etcher

Dal 1988-12-15 al 1991-12-14

Dettagli del progetto

Costo totale:

Non disponibile

Contributo UE:

Non disponibile

Coordinato in:

France

Obiettivo

Coordinatore

ALCATEL CIT SA
France
55 RUE EDGAR QUINET
92240 MALAKOFF
France
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Partecipanti

CENTRO NACIONAL DE MICROELECTRONICA
Spain
SERRANO, 144
28006 MADRID
Spain
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Centre National d'Études des Télécommunications (CNET)
France
98 chemin du Vieux Chêne
38243 Meyland
France
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Commissariat à l'Energie Atomique (CEA)
France
Centre d'Études de Grenoble 17 avenue des Martyrs
38041 Grenoble
France
NEDERLANDSE PHILIPS BEDRIJVEN BV
Netherlands
PROF. HOLSTLAAN, 4
5656 AA EINDHOVEN
Netherlands
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UNIVERSITY OF DUBLIN
Ireland
TRINITY COLLEGE
DUBLIN 2
Ireland
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Contatto amministrativo: Alan MOORE
Tel.: +353-1-7021432
Fax: +353-1-772442