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ASIC Multichamber Rapid Thermal Processing with Microwave Enhancement

De 1988-12-15 à 1991-12-14

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

France

Objectif

Coordinateur

SITESA ADDAX
France
RUE DU PRE MILLIET
38330 MONTBONNOT
France
Contact administratif: Alain PICARD
Tél.: +33-76943804
Fax: +33-76965569

Participants

Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
France
7 avenue de Colonel Roche
31077 Toulouse
France
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Contact administratif: Jean-Marie DILHAC
Tél.: +33-61336374
Fax: +33-61553577
E-mail
Commissariat à l'Energie Atomique (CEA)
France
Centre d'Études de Grenoble 17 avenue des Martyrs
38041 Grenoble
France
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Contact administratif: Louise PECCOUD
Tél.: +33-76883438
Fax: +33-76885183
SGS Thomson Microelectronics SA
France
17 avenue des Martyrs
38340 Grenoble
France
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Contact administratif: Danielle PRUD'HOMME
Tél.: +33-76583157
Fax: +33-76583406