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0.5 Micron X-Ray Lithography: Sources, Masks, Resist and Transferred Image

Von 1986-01-01 bis 1990-01-01

Projektdetails

Gesamtkosten:

Nicht verfügbar

EU-Beitrag:

Nicht verfügbar

Koordiniert in:

Italy

Ziel

Koordinator

Consiglio Nazionale delle Ricerche (CNR)
Italy
Via Cineto Romano 42
00156 Roma
Italy
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Teilnehmer

Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
France
15 Quai Anatole France
75700 Paris
France
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KING'S COLLEGE LONDON
United Kingdom
Strand
LONDON
United Kingdom
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Administrative Kontaktangaben: Ronald BURGE
Tel.: +44-1-8365454
Fax: +44-1-8720201
E-Mail-Adresse
Thomson CSF
France
Domaine de Corbeville
91404 Orsay
France
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Thomson Microelectronics Srl (SGS)
Italy
Via Carlo Olivetti
20041 Agrate Brianza Milano
Italy
Administrative Kontaktangaben: Pier Luigi CROTTI
Tel.: +39-6035803
Fax: +39-6035233
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