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0.5 Micron X-Ray Lithography: Sources, Masks, Resist and Transferred Image

De 1986-01-01 à 1990-01-01

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

Italy

Objectif

Coordinateur

Consiglio Nazionale delle Ricerche (CNR)
Italy
Via Cineto Romano 42
00156 Roma
Italy
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Contact administratif: TUCCIARONE
Tél.: +39-6-4124851
Fax: +39-6-4124397

Participants

Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
France
15 Quai Anatole France
75700 Paris
France
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Contact administratif: N/A
KING'S COLLEGE LONDON
United Kingdom
Strand
LONDON
United Kingdom
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Contact administratif: Ronald BURGE
Tél.: +44-1-8365454
Fax: +44-1-8720201
E-mail
Thomson CSF
France
Domaine de Corbeville
91404 Orsay
France
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Contact administratif: N/A
Thomson Microelectronics Srl (SGS)
Italy
Via Carlo Olivetti
20041 Agrate Brianza Milano
Italy
Contact administratif: Pier Luigi CROTTI
Tél.: +39-6035803
Fax: +39-6035233