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High Precision, Automated CD Metrology Station

Desde 1990-01-01 hasta 1991-06-30

Detalles del proyecto

Coste total:

No disponible

Aportación de la UE:

No disponible

Coordinado en:

Netherlands

Objetivo

Coordinador

NEDERLANDSE PHILIPS BEDRIJVEN BV
Netherlands
KASTANJELAAN, 1218
5600 MD EINDHOVEN
Netherlands
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Participantes

CCLRC Rutherford Appleton Laboratory (RAL)
United Kingdom
Chilton
OX11 0QX Didcot
United Kingdom
INTEGRATED CIRCUIT TESTING
Germany
KLAUSNERRING 1A
85551 KIRCHHEIM
Germany
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Contacto administrativo: Juergen FROSIEN
Tel.: +49-89-90999417
Fax: +49-89-90999429
Interuniversitair Mikroelektronica Centrum
Belgium
Kapeldreef 75
3030 Heverlee
Belgium
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Contacto administrativo: Nanda SAMARAKONE
Tel.: +32-16-281351
Fax: +32-16-229400
NEDERLANDSE PHILIPS BEDRIJVEN BV
Netherlands
PROF. HOLSTLAAN, 4
5656 AA EINDHOVEN
Netherlands
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Contacto administrativo: Michiel BAKHUIZEN
Tel.: +31-80-533670
Fax: +31-80-564053
NEDERLANDSE PHILIPS BEDRIJVEN BV
Netherlands
GERSTEWEG, 2
6534 AE NIJMEGEN
Netherlands
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Siemens AG
Germany
Balanstraße 73
81541 München
Germany
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Contacto administrativo: Rudolf LAUBMEIJER
Tel.: +49-89-63645054
Fax: +49-89-63648666
Thomson Microelectronics Srl (SGS)
Italy
Via Carlo Olivetti
20041 Agrate Brianza Milano
Italy
Contacto administrativo: Pier Luigi CROTTI
Tel.: +39-39-6035803
Fax: +39-39-6035233
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