Service Communautaire d'Information sur la Recherche et le Développement - CORDIS

High Precision, Automated CD Metrology Station

De 1990-01-01 à 1991-06-30

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

Netherlands

Objectif

Coordinateur

NEDERLANDSE PHILIPS BEDRIJVEN BV
Netherlands
KASTANJELAAN, 1218
5600 MD EINDHOVEN
Netherlands
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Contact administratif: TOLNER
Tél.: +31-40-766223
Fax: +31-4O-766164

Participants

CCLRC Rutherford Appleton Laboratory (RAL)
United Kingdom
Chilton
OX11 0QX Didcot
United Kingdom
Contact administratif: LAWRENCE-WILSON
Tél.: +44-235-445475
Fax: +44-235-445794
INTEGRATED CIRCUIT TESTING
Germany
KLAUSNERRING 1A
85551 KIRCHHEIM
Germany
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Contact administratif: Juergen FROSIEN
Tél.: +49-89-90999417
Fax: +49-89-90999429
Interuniversitair Mikroelektronica Centrum
Belgium
Kapeldreef 75
3030 Heverlee
Belgium
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Contact administratif: Nanda SAMARAKONE
Tél.: +32-16-281351
Fax: +32-16-229400
NEDERLANDSE PHILIPS BEDRIJVEN BV
Netherlands
PROF. HOLSTLAAN, 4
5656 AA EINDHOVEN
Netherlands
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Contact administratif: Michiel BAKHUIZEN
Tél.: +31-80-533670
Fax: +31-80-564053
NEDERLANDSE PHILIPS BEDRIJVEN BV
Netherlands
GERSTEWEG, 2
6534 AE NIJMEGEN
Netherlands
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Contact administratif: VAN DEN BERG
Tél.: +31-40-742137
Fax: +31-40-744648
Siemens AG
Germany
Balanstraße 73
81541 München
Germany
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Contact administratif: Rudolf LAUBMEIJER
Tél.: +49-89-63645054
Fax: +49-89-63648666
Thomson Microelectronics Srl (SGS)
Italy
Via Carlo Olivetti
20041 Agrate Brianza Milano
Italy
Contact administratif: Pier Luigi CROTTI
Tél.: +39-39-6035803
Fax: +39-39-6035233