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Fast Reticle Equipment for Europe

De 1990-06-01 à 1992-03-31

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

France

Objectif

Coordinateur

EUROPEAN LITHOGRAPHY INNOVATION (ELISA)
France
1 PLACETTE DE LA MARJOLAINE
91440 BURES SUR YVETTE
France
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Contact administratif: Jacques PERROCHEAU
Tél.: +33-1-69280809
Fax: +33-1-69280870

Participants

Cambridge Instruments Ltd
United Kingdom
Rustat Road
CB1 3QH Cambridge
United Kingdom
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Contact administratif: Peter MITCHELL
Tél.: +44-223-411411
Fax: +44-223-210692
NATIONAL RESEARCH CENTRE FOR SCIENTIFIC RESEARCH DEMOKRITOS
Greece
AGHIA PARASKEVI, 60228
15310 ATHENES
Greece
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Contact administratif: Michael HATZAKIS
Tél.: +30-210-6533781
Fax: +30-210-6511723
TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT
Netherlands
FELDMANNWEG 17, 5053
2600 GB DELFT
Netherlands
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Contact administratif: Johannes ROMIJN
Tél.: +31-15-786009
Fax: +31-15-783122
Thomson Microelectronics Srl (SGS)
Italy
Via Carlo Olivetti
20041 Agrate Brianza Milano
Italy
UNIVERSITY OF CAMBRIDGE
United Kingdom
MADINGLEY ROAD
CB3 0ES CAMBRIDGE
United Kingdom
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Contact administratif: Haroon AHMED
Tél.: +44-223-337557
Fax: +44-223-337706
Valvo Unternehmensbereich
Germany
Burchardstraße 19
20095 Hamburg
Germany
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Contact administratif: Manfred HERRMANN
Tél.: +49-40-3296172
Fax: +49-40-3296239