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New-Generation DUV-Stepper Optics

Desde 1990-01-01 hasta 1992-12-31

Detalles del proyecto

Coste total:

No disponible

Aportación de la UE:

No disponible

Coordinado en:

Germany

Objetivo

Coordinador

CARL ZEISS GMBH
Germany
CARL-ZEISS-STRAßE 4-54
73447 OBERKOCHEN
Germany
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Participantes

ASM LITHOGRAPHY
Netherlands
MEIERIJWEG 15, 8805
5503 HN VELDHOVEN
Netherlands
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HERAEUS QUARZSCHMELZE
Germany
QUARZSTRAßE 8
63450 HANAU
Germany
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