Servizio Comunitario di Informazione in materia di Ricerca e Sviluppo - CORDIS

New-Generation DUV-Stepper Optics

Dal 1990-01-01 al 1992-12-31

Dettagli del progetto

Costo totale:

Non disponibile

Contributo UE:

Non disponibile

Coordinato in:

Germany

Obiettivo

Coordinatore

CARL ZEISS GMBH
Germany
CARL-ZEISS-STRAßE 4-54
73447 OBERKOCHEN
Germany
See on map

Partecipanti

ASM LITHOGRAPHY
Netherlands
MEIERIJWEG 15, 8805
5503 HN VELDHOVEN
Netherlands
See on map
HERAEUS QUARZSCHMELZE
Germany
QUARZSTRAßE 8
63450 HANAU
Germany
See on map