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Development of an Advanced Diagnostic System for Sub-PPT Metal Contamination in Silicon Wafer Manufacturing and Processing

Von 1992-05-27 bis 1995-05-26

Projektdetails

Gesamtkosten:

Nicht verfügbar

EU-Beitrag:

Nicht verfügbar

Koordiniert in:

Italy

Ziel

Koordinator

Memc Materiali Elettronici SpA
Italy
Viale Gherzi 31
28100 Novara
Italy
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Administrative Kontaktangaben: Robert FALSTER
Tel.: +39-321-442394
Fax: +39-321-490041

Teilnehmer

Commissariat à l'Energie Atomique (CEA)
France
Centre d'Études de Grenoble 17 avenue des Martyrs
38041 Grenoble
France
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Administrative Kontaktangaben: Jean Pierre JOLY
Tel.: +33-76884557
Fax: +33-76-885183
GESELLSCHAFT FÜR MESSTECHNIK AND TECHNOLOGIE
Germany
GERETSRIEDER STRAßE, 10A
81379 München
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Peter EICHINGER
Tel.: +49-89-788868
Fax: +49-89-784369
E-Mail-Adresse
Thomson Microelectronics Srl (SGS)
Italy
Via Carlo Olivetti
20041 Agrate Brianza Milano
Italy
Administrative Kontaktangaben: Claudio SAVOIA
Tel.: +39-39-6035592
Fax: +39-39-6035820
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