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Beyond 0.3 micron Optical Lithography Development

Dal 1992-05-15 al 1995-05-14

Dettagli del progetto

Costo totale:

Non disponibile

Contributo UE:

Non disponibile

Coordinato in:

Netherlands

Obiettivo

Coordinatore

ASM LITHOGRAPHY
Netherlands
MEIERIJWEG 15, 8805
5503 HN VELDHOVEN
Netherlands
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Contatto amministrativo: Stefan WITTEKOEK
Tel.: +31-40-580310
Fax: +31-40-580709

Partecipanti

CARL ZEISS GMBH
Germany
CARL-ZEISS-STRAßE 4-54
73447 OBERKOCHEN
Germany
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Contatto amministrativo: Gerhard ITTNER
Tel.: +49-7364-202768
Fax: +49-7364-204509
Centre National d'Études des Télécommunications (CNET)
France
38-40 rue du Général Leclerc
92131 Issy-les-Moulineaux
France
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Contatto amministrativo: Daniel HENRY
Tel.: +33-76764059
Fax: +33-76903443
Commissariat à l'Energie Atomique (CEA)
France
Centre d'Études de Grenoble 17 avenue des Martyrs
38041 Grenoble
France
Contatto amministrativo: Jean-Charles GUIBERT
Tel.: +33-76883581
Fax: +33-76885183
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderungder Angewandten Forschung e.V.
Germany
Dillenburgerstrasse
14199 Berlin
Germany
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Contatto amministrativo: Joachim PELKA
Tel.: +49-30-82998216
Fax: +49-30-82998199
E-mail
IBM Deutschland GmbH
Germany
Pascalstraße 100
70569 Stuttgart
Germany
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Contatto amministrativo: Holger MORITZ
Tel.: +49-7031-126992
Fax: +49-7031-126282
INTERUNIVERSITAIR MIKROELEKTRONICA CENTRUM
Belgium
KAPELDREEF, 75
3030 HEVERLEE
Belgium
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Contatto amministrativo: Luc VAN DEN HOVE
Tel.: +32-16-281323
Fax: +32-16-229400