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VLSI Postprocessor

Von 1992-05-27 bis 1995-05-26

Projektdetails

Gesamtkosten:

Nicht verfügbar

EU-Beitrag:

Nicht verfügbar

Koordiniert in:

Germany

Ziel

Koordinator

SIGMA-C GmbH
Germany
Rosenheimer Landstraße 74
85521 Ottobrunn
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Christian KALUS
Tel.: +49-89-6096051
Fax: +49-89-6098112

Teilnehmer

Cambridge Instruments Ltd
United Kingdom
Rustat Road
CB1 3QH Cambridge
United Kingdom
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Administrative Kontaktangaben: James DALGLEISH
Tel.: +44-223-411411
Fax: +44-223-211310
EUROPEAN LITHOGRAPHY INNOVATION (ELISA)
France
1 PLACETTE DE LA MARJOLAINE
91440 BURES SUR YVETTE
France
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Administrative Kontaktangaben: Jacques TROTEL
Tel.: +33-1-69280863
Fax: +33-1-69280870
EUROPEAN SILICON STRUCTURES S.A.
France
ZONE INDUSTRIELLE
13106 ROUSSET
France
Administrative Kontaktangaben: Michel MADORE
Tel.: +33-42334000
Fax: +33-42334001
Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Germany
Allmandring 30A
70569 Stuttgart
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Frank HEINLEIN
Tel.: +49-711-6855878
Fax: +49-711-6855930
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