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VLSI Postprocessor

De 1992-05-27 à 1995-05-26

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Objectif

Coordinateur

SIGMA-C GmbH
Germany
Rosenheimer Landstraße 74
85521 Ottobrunn
Germany
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Contact administratif: Christian KALUS
Tél.: +49-89-6096051
Fax: +49-89-6098112

Participants

Cambridge Instruments Ltd
United Kingdom
Rustat Road
CB1 3QH Cambridge
United Kingdom
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Contact administratif: James DALGLEISH
Tél.: +44-223-411411
Fax: +44-223-211310
EUROPEAN LITHOGRAPHY INNOVATION (ELISA)
France
1 PLACETTE DE LA MARJOLAINE
91440 BURES SUR YVETTE
France
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Contact administratif: Jacques TROTEL
Tél.: +33-1-69280863
Fax: +33-1-69280870
EUROPEAN SILICON STRUCTURES S.A.
France
ZONE INDUSTRIELLE
13106 ROUSSET
France
Contact administratif: Michel MADORE
Tél.: +33-42334000
Fax: +33-42334001
Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Germany
Allmandring 30A
70569 Stuttgart
Germany
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Contact administratif: Frank HEINLEIN
Tél.: +49-711-6855878
Fax: +49-711-6855930