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FP5

OCMFMEMSM

Project ID: HPMF-CT-2002-00007
Gefördert unter

Optical characterisation methods for micro-electro- mechanical systems manufacturing: implementing and calibration of an in situ integrated technique

Von 2000-10-01 bis 2012-09-30

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 0

EU-Beitrag:

EUR 0

Koordiniert in:

France

Thema(en):

Aufruf zur Vorschlagseinreichung:

IHP-MCIF-99-1See other projects for this call

Ziel

Koordinator

UNIVERSIT_ DE FRANCHE-COMT_
France
Rue Goudimel
BESAN_ON
France
Administrative Kontaktangaben: Christophe GORECKI
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