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FP5

OCMFMEMSM

Project ID: HPMF-CT-2002-00007
Financé au titre de

Optical characterisation methods for micro-electro- mechanical systems manufacturing: implementing and calibration of an in situ integrated technique

De 2000-10-01 à 2012-09-30

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 0

Contribution de l'UE:

EUR 0

Coordonné à/au(x)/en:

France

Sujet(s):

Appel à propositions:

IHP-MCIF-99-1See other projects for this call

Objectif

Coordinateur

UNIVERSIT_ DE FRANCHE-COMT_
France
Rue Goudimel
BESAN_ON
France
Contact administratif: Christophe GORECKI