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FP5

DOMOEMS

Project ID: HPMD-CT-2000-00021
Gefördert unter

Development of micro-opto-electro-mechanical-systems on CMOS- substrates

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 590 400

EU-Beitrag:

EUR 590 400

Koordiniert in:

Germany

Thema(en):

Aufruf zur Vorschlagseinreichung:

IHP-MCHD-99-1See other projects for this call

Ziel

Koordinator

INSTITUT FUER MIKROELEKTRONISCHE SCHALTUNGEN UND SYSTEME - IMS DUISBURG
Germany
Finkenstrasse 61
DUISBURG
Germany
Administrative Kontaktangaben: Hubert LAKNER
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