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Kurzbeschreibung

Undotierte und Stickstoff-"dotierte" amorphe Kohlenwasserstoffschichten (a-C:H) wurden durch plasmaunterstützte chemische Abscheidung aus der Gasphase (PACVD) hergestellt. Einige der undotierten Proben wurden nachträglich durch Implantation mit Stickstoff-Ionen modifiziert. Die Schichten wurden untersucht mittels optischer Spektroskopie und Leitfähigkeits- sowie Photoleitfähigkeitsmessungen. Bei Zimmertemperatur wurden Leitfähigkeiten im Bereich von 1.0 E-13 bis 1.0 E-5/Ohm.cm für undotierte, 1.0 E-11 bis 1.0 E-4/Ohm.cm für Stickstoff-"dotierte" und 1.0 E-8 bis 1.0 E-2/Ohm.cm für ionenimplantierte Filme beobachtet. Messungen der Temperaturabhängigkeit der elektrischen Leitfähigkeit liefern Informationen über den Leitungsmechanismus. Messungen im Temperaturbereich 100 K - 300 K ergaben meistens Werte um 0,3, was auf eine Überlagerung mehrerer Mechanismen hindeutet. Messungen der Photoleitung zeigen, daß ihr Beitrag nur bei Temperaturen unter ca. 100 K dominiert. Aus optischen Absorptionsspektren wurden Tauc-Gaps berechnet, die mit zunehmendem Stickstoffgehalt 0,9 eV auf unter 0,2 eV abnehmen, wobei die Ergebnisse an ionenimplantierten und während der Herstellung dotierten Schichten vergleichbar sind.

Zusätzliche Angaben

Autoren: HAMMER P, Institut für Solarenergieforschung GmbH, Hannover (DE);HELMBOLD A, Institut für Solarenergieforschung GmbH, Hannover (DE);ROHWER K C, Institut für Solarenergieforschung GmbH, Hannover (DE);THIELE J, Institut für Solarenergieforschung GmbH, Hannover (DE);MEISSNER D, Institut für Solarenergieforschung GmbH, Hannover (DE);GISSLER W, JRC Ispra (IT)
Bibliografische Referenz: Paper presented: Deutsche Tagung Plasmatechnologie, Dresden (DE), April 4-5, 1991
Verfügbarkeit: Available from (1) as Paper DE 36217 ORA
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