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Kurzbeschreibung

Die vorliegende Arbeit befaßt sich mit grundsätzlichen Untersuchungen von Barrierenentladungen im Hinblick auf die Anwendung dieser Art von Gasentladungen zur Oberflächenbehandlung. Zur Einführung werden zunächst die wesentlichen Eigenschaften von Barrierentenladungen dargestellt, aber im Mittelpunkt stehen dabei die Mikroentladungen, aus denen sich Barrierenentladungen zusammensetzen. Die in dieser Arbeit verwendeten Versuchs- und Meßeinrichtungen werden beschrieben. Das zeitliche und räumliche Verhalten von Barrierenentladungen wird untersucht, und dabei werden die Gasart und der Gasdruck, die geometrische Anordnung und die Art der erzeugenden Spannung mit dem Ziel variiert, eine gleichmaßige Verteilung der Mikroentladungen zu erreichen. Einen Schwerpunkt bildet die Charakterisierung der Entladung anhand von Strom- und Spannungsverläufen. Es wird auch diskutiert, welche Entladungsbedingungen sich für die Behandlung von Oberflächen eignen. Weitere Untersuchungen haben die Erzeugung einer Kohlenwasserstoffschicht auf einem Glassubstrat zum Ziel. Die Prozeßbedingungen für eine qualitativ hochwertige Schicht werden beschrieben und der Einfluß der Entladungsbedingungen auf die Schichteigenschaften wird diskutiert.

Zusätzliche Angaben

Autoren: REITZ U, Kernforschungsanlage Jülich GmbH, Institut für Plasmaphysik, Jülich (DE)
Bibliografische Referenz: Report: Jül-2613 DE (1992) 128 pp.
Verfügbarkeit: Available from Zentralbibliothek der Kernforschungsanlage Jülich GmbH, Postfach 1913, 5170 Jülich (DE)
Datensatznummer: 199211069 / Zuletzt geändert am: 1994-11-29
Kategorie: publication
Originalsprache: de
Verfügbare Sprachen: de