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Kurzbeschreibung

In einem ECR-Reaktor wurden die Ionenenergieverteilungen (IEV) an der Substratposition mittels eines Parallelplatten-Gegenfeldanalysators gemessen. Diese Untersuchungen umfassen Experimente zum Einfluß von Prozeßgasdruck (Ar,CH(4),H(2)), Magnetfeldgeometrie, Einkopplung der Mikrowelle und dc-Vorspannung der Probe. Die mittleren Ionenenergien betragen bei geerdetem Substrat zwischen 10 und 60 eV. Die Halbwertsbreiten der symmetrischen Verteilungen liegen zwischen 3 und 12eV. Als maximaler Ionenfluß zum Substrat wurden 3.5 * 1.0 E16 1/cm2s erreicht. Zur Interpretation der IEV wurde ein qualitatives Modell entwickelt, in das die mittleren freien Weglängen und Diffusionslängen der geladenen Teilchen im Plasma eingehen.

Zusätzliche Angaben

Autoren: REINKE P, Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Garching bei München (DE)
Bibliografische Referenz: Report: IPP 4/256 DE (1992) 132 pp.
Verfügbarkeit: Available from Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, 8046 Garching bei München (DE)
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