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Kurzbeschreibung

Glimmentladungen werden auf vielfältige Weise zur Veränderung von Werkstoffoberflächen eingesetzt. Die energetischen Eigenschaften von Ionen und Neutralteilchen und ihre Spezieszusammensetzungen an der zu behandelnden Oberfläche (hier Kathode) haben einen wichtigen Einfluß auf den Ablauf dieser Vorgänge. Zur Zielsetzung dieser Arbeit gehörte es, einige wichtige Zusammenhänge zwischen den Eigenschaften von Plasmen, die solche Oberflächen maßgeblich beeinflussen, und den von Außen einstellbaren Entladungsparametern zu untersuchen, um die Oberflächenvorgänge optimieren zu können. Neben der Bestimmung von Ionen- und Neutralteilchen-Energiespektren an der Substratoberfläche und ihrer absoluten Teilchenflüsse ist auch die Kenntnis der allgemeinen elektrischen Eigenschaften einer Glimmentladung wie Plasmapotential, Kathodenfallspannung, Ionisationsgrad und Elektronentemperatur wichtig. Hierzu wurden experimentelle Untersuchungen und modellhafte Beschreibungen herangezogen. Sie wurden zunächst an einfachen Edelgasplasmen (He, Ar) vorgenommen und anschließend auf kompliziertere Molekülplasmen (H(2), CH(4)) ausgedehnt, die u.a. für die Konditionierung und Beschichtung von Fusionsanlagen eingesetzt werden.

Zusätzliche Angaben

Autoren: ROSE T, Forschungszentrum Jülich GmbH, Institut für Plasmaphysik (DE)
Bibliografische Referenz: Report: Jül-2662 DE (1992) 141 pp.
Verfügbarkeit: Available from Zentralbibliothek der Forschungszentrum Jülich GmbH, Postfach 1913, 5170 Jülich (DE)
Datensatznummer: 199211269 / Zuletzt geändert am: 1994-11-29
Kategorie: publication
Originalsprache: de
Verfügbare Sprachen: de