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Kurzbeschreibung

Der B-X-Übergang des CH-Radikals wurde mittels Laser induzierte Fluoreszenz (LIF) untersucht, um die absolute Dichte von CH Radikalen in einem Elektron-Zyklotron-Resonanz (ECR) Methan Plasma zu messen. Dank einer neuen Kalibrierungsmethode betrug der absolute experimentelle Fehler nur etwa 30 %. Die zentrale CH-Dichte im Plasma stieg von etwa 3 x 1.0 E9/cm3 bei 14 mPa bis auf etwa 1 x 1.0 E10/cm3 bei 0.5 Pa. Sie ist in den meisten Fällen im wesentlichen unabhängig von der absorbierten Mikrowellenleistung. Es gibt eine starke Korrelation zwischen der CH-Dichte und dem optischen Emissionssignals des CH A-X Übergangs und des CH B-X Übergangs über einen weiten Druckbereich. Es wurden zudem Werte für die Elektronentemperatur aus der Emissionsspektroskopie abgeleitet. Auch wurde das Linienintegral der Elektronendichte mittels Mikrowelleninterferometrie bestimmt. Werte für die atomare Wasserstoffdichte ergaben sich aus aktinometrischen Messungen. Die experimentellen Ergebnisse stimmen gut mit den Vorhersagen eines Modells überein. Dieses Modell basiert auf Ratengleichungen für Elektronenstoß-induzierte Dissoziation und Ionisation des Methans. Es beinhaltet auch die Plasma-Wand-Wechselwirkung und den Teilchentransport.

Zusätzliche Angaben

Autoren: ENGELHARD M, Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Garching bei München (DE)
Bibliografische Referenz: Report: IPP 4/262 DE/EN (1993)
Datensatznummer: 199311642 / Zuletzt geändert am: 1994-11-28
Kategorie: publication
Originalsprache: en
Verfügbare Sprachen: de,en
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