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Kurzbeschreibung

Zur in-situ-Charakterisierung wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten, die aus Methan-Niederdruckplasmen auf der Hochfrequenz-Elektrode eines PECVD-Reaktors abgeschieden werden, ist ein rechnergestütztes, spektroskopisches Infrarot-Ellipsometer entwickelt worden. Die technischen Besonderheiten des optischen Meßinstruments sind ein Argon-Kaskadenlichtbogen, der als hochintensive IR-Kontinuumlichtquelle eingesetzt wird, zwei Rochon-Polarisationsprismen, ein elektrisch betätigter Shutter und eine schnelle, digitale Datenverarbeitung. Unter konstant gehaltenen Depositionsbedingungen verblieben die ellipsometrisch ermittelten C:H-Streckschwingungen, im Schichtdickenbereich zwischen 200nm und 800nm, nahezu unverändert. Dies deutet auf ein homogenes Wachstum der C:H-Filme hin. In dünneren Schichten führte die Anregung der C:H-Schwingungen zu kaum wahrnehmbaren Änderungen der IR-Spektren, womit die Strukturanalyse dieser Filme nicht möglich war.

Zusätzliche Angaben

Autoren: FRIEDL A, Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Garching bei München (DE)
Bibliografische Referenz: Report: IPP 4/267 DE (1994) 93 pp.
Verfügbarkeit: Available from Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, 8046 Garching bei München (DE)
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