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Riassunto

Questo lavoro discute delle varie problematiche riscontrate nell'installazione di un rivelatore Si-Li Link senza finestra su un microscopio a scansione con una dorgente elettronica ad emissione di campo (FE). La sorgente a catodo freddo utilizzata è intrinsecamente instabile. E possibile comunque applicare una correzione appropriata mediante un controllo continuo della corrente del fascio, variando il tempo di acquisizione dello spettro in funzione dei cambiamento della corrente. La linearità dell'attuale sistema di compensazione risulta adeguata per l'intera gamma di tensione. Una legggera perdita di vuoto nell'alloggiamento del cristello rivelatore, che portava alla formazione di un strato di ghiaccio sul cristallo, è stata risolta con la riparazione dl rivelatore. Il problema della interferenza dovuta ai campi elettromagnetici spurii è stato ridimensionato con una migliora messa a terra della strumentazione a con la disinserzione dei cavi coassiali per la mappatura.

Informazioni supplementari

Autori: RICKERBY D G, JRC Ispra (IT)
Riferimenti bibliografici: Paper presented: SIME '95 - XX Congresso di Microscopia Elettronica, Rimini (IT), September 11-14, 1995
Disponibilità: Available from (1) as Paper IT 39264 ORA
Numero di registrazione: 199511290 / Ultimo aggiornamento: 1995-11-23
Categoria: publication
Lingua originale: it
Lingue disponibili: it