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Kurzbeschreibung

Die Anwendung von Methoden der Versuchsplanung wird am Beispiel von Niob-Dünnfilmen beschrieben. Zum einen wird ein Fallbeispiel für die Modellbildung von Ziel- und Meßgrößen in Abhängigkeit vorgegebener Einflußgrößen vorgestellt. Zum anderen wird von der Durchführung einer Versuchsreihe zur Selektion der wesentlichen Einflußgrößen aus einer großen Anzahl potentieller Einflußgrößen eines Prozesses berichtet.

Zusätzliche Angaben

Autoren: KNAPPE S, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig (DE);ELSTER C, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig (DE);AßMANN C, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig (DE)
Bibliografische Referenz: Report: PTB-EW-7 DE (1995) 44pp.
Verfügbarkeit: Available from Physikalisch Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig (DE)
ISBN: 3-89429-910-X
Datensatznummer: 199610063 / Zuletzt geändert am: 1996-02-16
Kategorie: publication
Originalsprache: de
Verfügbare Sprachen: de
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