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FP7

MEMS MATURITY Ergebnis in Kürze

Projektreferenz: 323458
Gefördert unter: FP7-JTI
Land: Frankreich

Fortschrittliche Gyroskope

Eine EU-finanzierte Initiative hat den aktuellen Herstellungsprozess und das Design von kleinen mechanischen Gyroskopen mit einer Größe von weniger als 1 mm verbessert.
Fortschrittliche Gyroskope
Mikrosystemtechnische (MEMS) Gyroskope sind winzige, billige Geräte, die die Winkelgeschwindigkeit messen. Diese Gyroskope werden unter anderem für Smartphones und Automobile verwendet, um Bewegung zu erfassen.

Die Initiative MEMS MATURITY (MEMS Gyro - Maturity assessment of performance and integration) verbesserte die Funktionalität und Wirtschaftlichkeit des MEMS-Gyroskops.

Die Wissenschaftler reduzierten die Kosten für die Gyro-Zelle, indem sie den Siliziumchip verkleinerten, der die Zelle enthält. Ferner verbesserte eine optimierte Anbringung des Geräts die Leistung, indem die Restspannung auf das Gyroskop reduziert wurde.

Außerdem verbesserte das Team den Getter (den chemischen Schwamm, mit dem das Vakuum aufrecht erhalten wird). Sie vereinfachten den Herstellungsprozess und reduzierten das Kontaminationsrisiko. Darüber hinaus führte eine Anpassung des Befestigungsprozesses zu einer besseren Ausrichtung und zu höherer Bindungsqualität.

MEMS MATURITY entwickelte die Herstellung und das Design von MEMS-Gyroskopen weiter. Diese Fortschritte können eine breite Palette von Geräten verbessern, beispielsweise um das wegrollen von Fahrzeugen zu hindern und die Flugnavigation zu verbessern.

Verwandte Informationen

Schlüsselwörter

Gyroskope, Herstellung, Mikrosystemtechnik, MEMS, Winkelgeschwindigkeit
Datensatznummer: 182772 / Zuletzt geändert am: 2016-05-24
Bereich: Industrielle Technologien