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FP7

MEMS MATURITY — Resultado resumido

Project ID: 323458
Financiado con arreglo a: FP7-JTI
País: Francia

Avances en giroscopios

Un proyecto financiado por la Unión Europea mejoró el proceso de fabricación y el diseño actual de giroscopios mecánicos diminutos de menos de 1 mm.
Avances en giroscopios
Los giroscopios de sistemas microelectromecánicos (MEMS) son dispositivos diminutos y económicos que miden la velocidad angular. Estos giroscopios se utilizan en diferentes aplicaciones, como en los teléfonos inteligentes y automóviles, para detectar el movimiento del dispositivo.

El proyecto MEMS MATURITY (MEMS Gyro - Maturity assessment of performance and integration) ha mejorado la funcionalidad y la rentabilidad del giroscopio de MEMS.

Sus científicos abarataron los costes de la célula del giroscopio al disminuir el tamaño de la matriz de silicio que contiene la célula. Además, al mejorar la unión del dispositivo aumenta el rendimiento pues disminuye el estrés residual en el giroscopio.

El equipo de trabajo también mejoró el extractor (la esponja química que se utiliza para mantener el vacío). Simplificaron el proceso de fabricación, y disminuyeron el riesgo a la contaminación. Además, mejorar el proceso de unión condujo a mejoras en el alineamiento y en la calidad de la unión.

MEMS MATURITY permitió avanzar en la fabricación y el diseño de giroscopios de MEMS. Gracias a estos avances es posible aumentar la calidad de muchos dispositivos diferentes como los sistemas para evitar el deslizamiento de los vehículos y mejorar la navegación aérea de las aeronaves.

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Palabras clave

Giroscopios, fabricación, sistemas microelectromecánicos, MEMS, velocidad angular
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