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FP5

3RD GENLAC Résumé de rapport

Project ID: ENK6-CT-2002-00678
Financé au titre de: FP5-EESD
Pays: Germany

Process simulation for reactive and non-reactive sputtering kinetics

Heuristic model of reactive sputtering

Reported by

Fraunhofer IST
Bienroder Weg 54e
38108 Braunschweig
Germany
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