Servicio de Información Comunitario sobre Investigación y Desarrollo - CORDIS

Para herramientas de haces de electrones de alto rendimiento y fuentes de gran intensidad

Una nueva tecnología israelí permite cultivar nanotubos de carbono (CNT) para incorporarlos en chips o estructuras de MEM y utilizarlos en aplicaciones electrónicas avanzadas.
Para herramientas de haces de electrones de alto rendimiento y fuentes de gran intensidad
La tecnología dirigida al crecimiento de los nanotubos de carbono emplea el proceso de deposición química en fase de vapor asistida por plasma (pe-CVD), un proceso nada costoso, en diferentes sustratos y en estructuras de 3D. De este modo se consiguen nanotubos de carbono de varias paredes (MWCNT), individuales o en grupos. El proceso de pe-CVD se podría utilizar para fabricar series de nanotubos de carbono con un control absoluto sobre la ubicación y la morfología de los nanotubos, incluso en estructuras tridimensionales. El método de producción de los CNT en las estructuras del sistema micro-electromecánico (MEMS) resulta adecuado para sustituir las fuentes electrónicas comunes en numerosas aplicaciones.

El método del hueco catódico consiste en desarrollar nanotubos individuales dentro de una estructura hueca homogénea para obtener una fuente de electrones fría por emisión de campo (FE) con excelentes propiedades de haces. La técnica permite distribuir los haces de electrones con una menor dispersión angular y, por tanto, una menor interacción con las paredes y las aperturas en la óptica de electrones asociada. Las fuentes de electrones frías por FE presentan un grado alto de brillo y son adecuadas para las herramientas de haces de electrones de alto rendimiento o fuentes de alta corriente. El método se puede personalizar fácilmente para determinadas aplicaciones con el mínimo esfuerzo para el desarrollo del proceso de fabricación de MEMS.

Partiendo del proceso pe-CVD modificado y el método del hueco catódico y en función de la aplicación, se pueden integrar en un solo chip emisor los números arbitrarios de las fuentes de electrones controlables individualmente. El chip presenta un control individual o global sobre el voltaje de la extracción y por tanto de la corriente de la emisión. El tamaño de los ensayos varía, desde una fuente sencilla dirigida al Microscopio Electrónico de Barrido (SEM) a un millón de fuentes para fuentes de alta corriente.

El chip emisor de campo de los nanotubos de carbono puede tener muchas aplicaciones, por ejemplo las fuentes para herramientas de haces de electrones de alto rendimiento en la fabricación de semiconductores y las industrias de instrumentos analíticos. Gracias a sus excelentes propiedades, también podrían sustituir a las fuentes de electrones comunes de alta corriente en los dispositivos de tratamiento de superficies y la soldadura de haces electrónicos. Además, se podrían usar como fuentes de ionización para la espectrometría de masas, fuentes catódicas frías para tubos de rayos X, electrónica de vacío y aceleradores de partículas.

La tecnología está protegida por los derechos de propiedad intelectual del desarrollador, lo cual facilita los esfuerzos del desarrollo comercial. Se busca un fabricante de herramientas de fabricación de semiconductores, productos nanotecnológicos, dispositivos de ionización o instrumentos analíticos para desarrollar determinadas aplicaciones y comercializarlas.
Número de registro: 82393 / Última actualización el: 2006-02-06
Dominio: TI, Telecomunicaciones