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Per strumenti di fascio elettronico ad alte prestazioni e sorgenti ad alta intensità

Un'innovativa tecnologia israeliana consente la crescita di singoli nanotubi di carbonio (CNT) da inserire nei chip o nelle strutture MEM per applicazioni d'elettronica avanzata.
Per strumenti di fascio elettronico ad alte prestazioni e sorgenti ad alta intensità
La tecnologia mirata alla crescita di nanotubi al carbonio sfrutta l'economico processo pe-CVD (plasma-enhanced Chemical Vapour Deposition), ossia la deposizione per vaporizzazione chimica potenziata al plasma su differenti sostrati e in strutture tridimensionali. In questo modo è possibile far crescere nanotubi singoli o gruppi di nanotubi a più pareti (MWCNT). Il processo pe-CVD potrebbe essere usato per fabbricare matrici di nanotubi di carbonio con il controllo totale della loro posizione e morfologia anche in strutture tridimensionali. Il metodo di produzione di CNT in strutture MEMS (Micro-Electrical Machine System) è adatto a sostituire le comuni sorgenti di elettroni in numerose applicazioni.

Il metodo del pozzo catodico comporta la crescita di singoli nanotubi in una struttura di pozzo proprietaria, creando una sorgente fredda di elettroni FE (Field Emitter, a emissione di campo) con eccellenti proprietà di fascio. I fasci di elettroni prodotti con questa tecnica hanno una minore dispersione angolare e dunque una minore interazione con le pareti e le aperture nell'ottica elettronica associata. Le sorgenti fredde di elettroni a emissione di campo mostrano un'elevata brillantezza e sono adatte per strumenti di fascio elettronico ad elevate prestazioni o le sorgenti di corrente forte. Il metodo può essere agevolmente personalizzato per applicazioni specifiche, con un minimo sforzo per lo sviluppo del processo di fabbricazione MEMS.

Sulla base del processo pe-CVD modificato e del metodo di pozzo catodico, e a seconda dell'applicazione, in un singolo chip emettitore sono integrati un numero arbitrario di sorgenti di elettroni controllabili individualmente. Il chip ha il controllo individuale o globale della tensione d'estrazione e dunque della corrente di riposo. Le dimensioni delle matrici possono variare da una singola sorgente destinata a un SEM (Scanning Electron Microscope) a milioni di sorgenti per sorgenti d'alta corrente.

Il chip a emissione di campo del nanotubo di carbonio può trovare molteplici applicazioni, tra cui le sorgenti per strumenti di fascio elettronico ad alto rendimento nella fabbricazione dei semiconduttori e nelle industrie di strumentazione analitica. Per le sue eccezionali proprietà, il chip potrebbe anche sostituire le attuali sorgenti d'elettroni d'alta corrente nella saldatura per fascio d'elettroni e nei dispositivi di trattamento delle superfici. Inoltre potrebbe essere usato come sorgente d'ionizzazione per la spettrometria di massa, sorgenti a catodo freddo per tubi a raggi X, elettronica nel vuoto e acceleratori di particelle.

La tecnologia è protetta dai diritti completi di proprietà intellettuale del suo sviluppatore, cosa che semplifica gli sforzi di sviluppo commerciale. Si cerca un fabbricante di strumenti per la fabbricazione di semiconduttori, di prodotti nanotecnologici, di apparecchiature di ionizzazione, di strumenti d'analisi, per lo sviluppo di specifiche applicazioni e la loro commercializzazione.
Numero di registrazione: 82393 / Ultimo aggiornamento: 2006-02-06
Dominio: TI, Telecomunicazioni