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FP6

NANOPLASMA — Risultato in breve

Project ID: 16424
Finanziato nell'ambito di: FP6-NMP

Maturità dell'incisione mediante plasma

L'incisione di precisione dei circuiti con flussi di plasma potrebbe dare origine a una tecnologia d'avanguardia. Le PMI potranno così produrre dispositivi elettronici in modo più rapido ed efficace.
Maturità dell'incisione mediante plasma
L'incisione al plasma è un processo produttivo che prevede flussi rapidi di scarichi di plasma per creare circuiti integrati. Il progetto Nanoplasma (Plasma etching for desired nano-feature shape and nano-texture: an advanced reactor and simulation software for feedback-loop plasma control), finanziato dall'UE, ha studiato un nuovo metodo per l'incisione al plasma. Il nuovo metodo multilivello prevede esperimenti di misurazione e controllo per ottenere l'incisione al plasma a livello di nanoscala, inclusa la nano-ruvidità superficiale controllata e la struttura.

Concentrandosi sulla diagnostica del plasma, sulla simulazione con plasma e sul software di modellazione di superficie, il progetto ha sviluppato un migliore strumento per l'incisione al plasma che migliora la produzione e il controllo di difficili processi di incisione su nanoscala.

Nanoplasma ha convalidato i modelli di incisione al plasma controllando i flussi di gas e la potenza del plasma per monitorare da vicino il tasso e il profilo di incisione. Ha sviluppato uno strumento avanzato di incisione al plasma con una nuova sorgente di plasma, con automatch a radiofrequenza (RF), spettroscopia integrata e il controllo a circuito chiuso, offrendo una precisione eccellente.

Sono stati fatti progressi per ridurre la ruvidità e creare colonne strutturate di 50 nm di spessore. In generale il progetto ha prodotto prototipi fattibili per un nuovo strumento di incisione al plasma e per un simulatore di incisione al plasma. Ha inoltre pubblicato 15 articoli in riviste accademiche e 50 pubblicazioni accademiche nel corso di conferenze. Sono state registrate quattro richieste di brevetti per salvaguardare la nuova tecnologia, dimostrando ancora una volta la supremazia dell'Europa in questo tipo di tecnologia.

Questi risultati consentiranno alle PMI di produrre in modo affidabile dei nanodispositivi in piccoli lotti e in quantità produttive superiori, con una tecnologia d'avanguardia e un approccio efficace in termini di costi.

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