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The production and calibration of a sub-micrometre photomask linewidth standard

Von 1995-01-01 bis 1997-06-30

Projektdetails

Gesamtkosten:

Nicht verfügbar

EU-Beitrag:

Nicht verfügbar

Koordiniert in:

United Kingdom

Thema(en):

Finanzierungsprogramm:

CSC - Cost-sharing contracts

Koordinator

National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom
Queen's Road
TW11 0LW Teddington
United Kingdom
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Administrative Kontaktangaben: N/A

Teilnehmer

Dupont Photomask SA
France
Rue Olivier Perroy
13790 Rousset
France
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Administrative Kontaktangaben: N/A
PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT
Germany
Bundesallee 100
BRAUNSCHWEIG
Germany
Administrative Kontaktangaben: N/A
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