The production and calibration of a sub-micrometre photomask linewidth standard

Projektinformationen

ID Finanzhilfevereinbarung: MAT1940073

Startdatum 1 Januar 1995

Enddatum 30 Juni 1997

Finanziert unter

• Specific research and technological development programme (EEC) in the field of measurements and testing, 1990-1994

Gesamtkosten € 0,00

EU-Beitrag Keine Daten

Koordiniert durch

National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom

Programm/Programme

• FP3-MAT - Specific research and technological development programme (EEC) in the field of measurements and testing, 1990-1994

Thema/Themen

Data not available

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Data not available

Finanzierungsplan

CSC - Cost-sharing contracts

Koordinator

National Physical Laboratory (NPL)

• EU-Beitrag: Keine Daten
• Adresse: Queen's Road ; TW11 0LW Teddington ; Vereinigtes Königreich
• Gesamtkosten: Keine Daten

Beteiligte (2)

Dupont Photomask SA

Frankreich

• EU-Beitrag: Keine Daten
• Adresse: Rue Olivier Perroy ; 13790 Rousset
• Gesamtkosten: Keine Daten

PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT

Deutschland

• EU-Beitrag: Keine Daten
• Adresse: Bundesallee 100 ; BRAUNSCHWEIG
• Gesamtkosten: Keine Daten