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The production and calibration of a sub-micrometre photomask linewidth standard

Desde 1995-01-01 hasta 1997-06-30

Detalles del proyecto

Coste total:

No disponible

Aportación de la UE:

No disponible

Coordinado en:

United Kingdom

Tema(s):

Régimen de financiación:

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinador

National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom
Queen's Road
TW11 0LW Teddington
United Kingdom
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Contacto administrativo: N/A

Participantes

Dupont Photomask SA
France
Rue Olivier Perroy
13790 Rousset
France
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Contacto administrativo: N/A
PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT
Germany
Bundesallee 100
BRAUNSCHWEIG
Germany
Contacto administrativo: N/A
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