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The production and calibration of a sub-micrometre photomask linewidth standard

Dal 1995-01-01 al 1997-06-30

Dettagli del progetto

Costo totale:

Non disponibile

Contributo UE:

Non disponibile

Coordinato in:

United Kingdom

Argomento (i):

Meccanismo di finanziamento:

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinatore

National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom
Queen's Road
TW11 0LW Teddington
United Kingdom
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Contatto amministrativo: N/A

Partecipanti

Dupont Photomask SA
France
Rue Olivier Perroy
13790 Rousset
France
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Contatto amministrativo: N/A
PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT
Germany
Bundesallee 100
BRAUNSCHWEIG
Germany
Contatto amministrativo: N/A