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Low thermal budget epitaxy of SI and SI-alloys

Dal 1994-11-01 al 1996-10-31

Dettagli del progetto

Costo totale:

Non disponibile

Contributo UE:

Non disponibile

Coordinato in:

Belgium

Meccanismo di finanziamento:

CSC - Cost-sharing contracts

Obiettivo

Coordinatore

INTERUNIVERSITAIR MIKRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
75,Kapeldreef 75
3001 HEVERLEE
Belgium
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Contatto amministrativo: Johan NIJS

Partecipanti

INSTITUTE FOR PARTICLE AND NUCLEAR PHYSICS - HUNGARIAN ACADEMY OF SCIENCES
Hungary
1525 BUDAPEST
Hungary
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Contatto amministrativo: Istvan DEZSI
MICROVACUUM LTD.
Hungary
10,Kerekgyarto U. 10
1147 BUDAPEST
Hungary
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Contatto amministrativo: Istvan SZENDRO