Service Communautaire d'Information sur la Recherche et le Développement - CORDIS

The Creation of a Software Tool for the Resist Heating Effect Correction in Electron Beam Lithography on the Base of Experimental Investigation and Verification

De 1995-04-01 à 1997-03-31

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Sujet(s):

Régime de financement:

CSC - Cost-sharing contracts

Objectif

Coordinateur

AISS GmbH
Germany
Gotzinger Straße 46
81371 München
Germany
See on map
Contact administratif: Thomas WAAS
Tél.: +49-89-74610212
Fax: +49-89-7254357
E-mail

Participants

Institute of Computer Systems
Slovakia
Bratislava
Slovakia
SET-SERVIS
Russia
Moscow
Russia
See on map