Wspólnotowy Serwis Informacyjny Badan i Rozwoju - CORDIS

  • Komisja Europejska
  • CORDIS
  • Projekty i wyniki
  • The Creation of a Software Tool for the Resist Heating Effect Correction in Electron Beam Lithography on the Base of Experimental Investigation and Verification

The Creation of a Software Tool for the Resist Heating Effect Correction in Electron Beam Lithography on the Base of Experimental Investigation and Verification

Od 1995-04-01 do 1997-03-31

Dane projektu

Całkowity koszt:

Niedostępne

Wkład UE:

Niedostępne

Kraj koordynujący:

Germany

Topic(s):

System finansowania:

CSC - Cost-sharing contracts

Cel

Koordynator

AISS GmbH
Germany
Gotzinger Straße 46
81371 München
Germany
See on map
Kontakt administracyjny: Thomas WAAS
Tel.: +49-89-74610212
Faks: +49-89-7254357
Adres e-mail

Uczestnicy

Institute of Computer Systems
Slovakia
Bratislava
Slovakia
SET-SERVIS
Russia
Moscow
Russia
See on map
Śledź nas na: RSS Facebook Twitter YouTube Zarządzany przez Urząd Publikacji UE W górę