Service Communautaire d'Information sur la Recherche et le Développement - CORDIS

Evaluation of a highly productive computer controlled microwave barrel ash system for IC fabrication

De 1995-12-08 à 1997-03-07

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 550 000

Contribution de l'UE:

EUR 275 000

Coordonné à/au(x)/en:

Austria

Régime de financement:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objectif

Coordinateur

Siemens Bauelemente Ohg
Austria
Siemensstrasse 2
9500 Villach
Austria
See on map
Contact administratif: Michael SCHWARK
Tél.: +43-4242-305524
Fax: +43-4242-305401