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Sigma 204 force fill assessment for 0.5 microns contact/via al(0.5 %cu) plug technology in high volume production environment

De 1995-12-01 à 1996-12-31

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 5 880 000

Contribution de l'UE:

EUR 2 940 000

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Régime de financement:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objectif

Coordinateur

Texas Instruments Deutschland Gmbh
Germany
Haggertystrasse 1
85356 Freising
Germany
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Contact administratif: Leo STROTH
Tél.: +49-8161804070
Fax: +49-8161803350