Wspólnotowy Serwis Informacyjny Badan i Rozwoju - CORDIS

Hot cluster for integrated vapour phases cleaning and processing of dielectrics and insitu doped polysilicon

Od 1996-06-01 do 1998-09-30

Dane projektu

Całkowity koszt:

EUR 5 600 000

Wkład UE:

EUR 2 800 000

Kraj koordynujący:

Germany

System finansowania:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Cel

Koordynator

Siemens Ag, Semiconductor Group
Germany
Balanstrasse 73
81541 Muenchen
Germany
See on map
Kontakt administracyjny: Alexander GSCHWANDTNER
Tel.: +49-89-63645067
Faks: +49-89-63644236
Śledź nas na: RSS Facebook Twitter YouTube Zarządzany przez Urząd Publikacji UE W górę