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European deep UV stepper assessment

Desde 1996-06-01 hasta 1998-02-28

Detalles del proyecto

Coste total:

EUR 6 620 000

Aportación de la UE:

EUR 3 310 000

Coordinado en:

Belgium

Régimen de financiación:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objetivo

Coordinador

Interuniversity Microelectronics Centre
Belgium
Kapeldreef 75
3001 Leuven
Belgium
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Contacto administrativo: Luc VAN DEN HOVE
Tel.: +32-16-281323
Fax: +32-16-281214
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