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Automated wet bench for critical pre-oxidation treatments for sub-half micron applications

Von 1995-12-01 bis 1997-10-31

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 2 500 000

EU-Beitrag:

EUR 1 250 000

Koordiniert in:

Italy

Finanzierungsprogramm:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Ziel

Koordinator

Sgs-Thomson Microelectronics
Italy
Via C. Olivetti 2
20041 Agrate Brianza
Italy
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Administrative Kontaktangaben: ALESSANDRI
Tel.: +39-396035852
Fax: +39-396035233
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