Wspólnotowy Serwis Informacyjny Badan i Rozwoju - CORDIS

Metrology equipment test for overlay reading for sub-halfmicron technology

Od 1997-02-01 do 1998-04-30

Dane projektu

Całkowity koszt:

EUR 1 348 000

Wkład UE:

EUR 674 000

Kraj koordynujący:

France

System finansowania:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Cel

Koordynator

Grenoble Submicron Silicon
France
Avenue Des Martyrs 17
38054 Grenoble 9
France
See on map
Kontakt administracyjny: Gilles FANGET
Tel.: +33-76884918
Faks: +33-76883034
Adres e-mail
Śledź nas na: RSS Facebook Twitter YouTube Zarządzany przez Urząd Publikacji UE W górę