Forschungs- & Entwicklungsinformationsdienst der Gemeinschaft - CORDIS

Extreme ultra-violet (EUV) lithography using a laser plasma source and multilayer optics

Von 1995-04-01 bis 1997-03-31

Projektdetails

Gesamtkosten:

Nicht verfügbar

EU-Beitrag:

EUR 50 000

Koordiniert in:

Netherlands

Ziel

Verwandte Informationen

Koordinator

Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie
Netherlands
Edisonbaan 14
3439 MN Nieuwegein
Netherlands
See on map
Administrative Kontaktangaben: BIJKERK
Tel.: +31-30-6096999
Fax: +31-30-6031204

Teilnehmer

European Synchrotron Radiation Facility
France
38043 Grenoble
France
See on map
Administrative Kontaktangaben: BRANDEN
KING'S COLLEGE LONDON
United Kingdom
Strand
LONDON
United Kingdom
See on map
Administrative Kontaktangaben: MICHETTE
Russian Academy of Sciences
Russia
117924 Moscow
Russia
See on map
Administrative Kontaktangaben: SOBEL'MAN
Russian Academy of Sciences
Russia
194021 St. Petersburg
Russia
See on map
Administrative Kontaktangaben: GORDEEV
Russian Academy of Sciences
Russia
142432 Chernogolovka, Moscow Region
Russia
See on map
Administrative Kontaktangaben: ERKO
Russian Academy of Sciences
Russia
603600 Nizhny Novgorod
Russia
See on map
Administrative Kontaktangaben: GAPONOV
Folgen Sie uns auf: RSS Facebook Twitter YouTube Verwaltet vom Amt für Veröffentlichungen der EU Nach oben