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The development of a Silicon Linewidth Standard

Desde 1992-11-01 hasta 1996-10-31

Detalles del proyecto

Coste total:

No disponible

Aportación de la UE:

No disponible

Coordinado en:

Germany

Tema(s):

Régimen de financiación:

CSC - Cost-sharing contracts

Objetivo

Coordinador

Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Germany
Bundesallee 100
3300 Braunschweig
Germany
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Contacto administrativo: Werner MIRANDE
Tel.: +49-531-5924220
Fax: +49-531-5929292

Participantes

Interuniversitair Mikro-Electronika Centrum VZW
Belgium
Kapeldreef 75
3001 HEVERLEE
Belgium
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National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom
Queen's Road
TW11 0LW Teddington
United Kingdom
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