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The development of a Silicon Linewidth Standard

De 1992-11-01 à 1996-10-31

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Sujet(s):

Régime de financement:

CSC - Cost-sharing contracts

Objectif

Coordinateur

Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Germany
Bundesallee 100
3300 Braunschweig
Germany
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Contact administratif: Werner MIRANDE
Tél.: +49-531-5924220
Fax: +49-531-5929292

Participants

Interuniversitair Mikro-Electronika Centrum VZW
Belgium
Kapeldreef 75
3001 HEVERLEE
Belgium
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National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom
Queen's Road
TW11 0LW Teddington
United Kingdom
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